当システムでは、液体サイクロン、スーパークロンを採用。微細で比重の大きな砥粒の高精度な分級を可能にしました。流速、サイクロン径などの調整により分級点を自在に変えられるため、お客様の必要とする、粒径の砥粒を高効率に回収いたします。さらに、多筒式にすることで、お客様の処理量に柔軟に対応いたします。
これにより、これまで廃棄していた研磨スラリーから、利用可能な砥粒を回収。新砥粒を加え濃度調整することで、製造工程でのリユースを可能にしました。
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| ＜実績＞ |
型式：TR-10型サイクロン (0.5〜20μm対応）
研磨材：GC#2000ラップ、濃度：26.6wt%
回収率 18.58kg/29.08kg×100＝63.89% (研磨盤での使用バッチ数により変動します)
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＜分級精度＞ |
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研磨スラリー中には、再利用可能な砥粒が多く含まれています。（Fig.1） |
| Fig.1 原液 |
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これを、液体サイクロンで分離・回収することで、新砥粒に近い粒度分布の研磨材が回収できます。（Fig.2、3） |
| Fig.2 回収研磨材 |
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Fig.3 新砥粒 |
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廃棄スラリー中には、リユースに向かない、細かな砥粒のみが回収されていることが確認できます。（Fig.4） |
| Fig.4 廃棄物 |
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