研磨材高精度分級システム

再利用可能な砥粒を高効率回収！！

当システムでは、液体サイクロン、スーパークロンを採用。微細で比重の大きな砥粒の高精度な分級を可能にしました。流速、サイクロン径などの調整により分級点を自在に変えられるため、お客様の必要とする、粒径の砥粒を高効率に回収いたします。さらに、多筒式にすることで、お客様の処理量に柔軟に対応いたします。

これにより、これまで廃棄していた研磨スラリーから、利用可能な砥粒を回収。新砥粒を加え濃度調整することで、製造工程でのリユースを可能にしました。

導入実績

型式：tr-10型サイクロン (0.5〜20μm対応）
研磨材：GC#2000ラップ、濃度：26.6wt%

回収率　18.58kg/29.08kg×100＝63.89%　(研磨盤での使用バッチ数により変動します)

分級精度

研磨スラリー中には、再利用可能な砥粒が多く含まれています。（Fig1）

これを、液体サイクロンで分離・回収することで、新砥粒に近い粒度分布の研磨材が回収できます。（Fig.2,3）

廃棄スラリー中には、リユースに向かない、細かな砥粒のみが回収されていることが確認できます。（Fig.4）

研磨材高精度分級システム仕様一覧

2液分離分級

中粒、粗粒の分離、分級（3〜150μm） 処分量が多量の場合 粒度分布が広く、粗粒と微粒を大分けする場合

型式	分離分級精度	主な用途
T-10	3〜20μm	無機質、有機質の中粒粉の分級 研磨材リサイクル 粗粒の除去を主とする場合
T-80	10〜20μm	無機質、有機質の中粒粉の分級 パルプ中の微細異物除去
SC-100	5〜50μm	無機質、金属質の中粒粉、粗粒粉の分級、濃縮
SC-150	10〜150μm	無機質、金属質の粗粒粉の分級、濃縮

3液分離分級

微粉の分離、分級（0.1〜20μm） 分級精度が厳しく求められる場合 分級点を変化させたい場合

型式	分離分級精度	主な用途
tr-5	0.5〜5μm	無機質、有機質の中粒粉の分級 研磨材リサイクル 粗粒の除去を主とする場合
tr-10	0.5〜20μm

• 液体サイクロン単体の性能です。

主な用途

シリコンウエハー、液晶ガラス基板、水晶振動子、レンズ・光学レンズの研磨材リサイクル、その他（塗料・顔料の分級・分別、砥粒・セラミック粉・炭酸カルシウムの分級、分別、金属粉末スラリーの分級、分別、結晶粉末の分級、分別、紙・パルプ製造工程の微細異物除去、古紙パルプ製造中の微細砂・金属および印刷インクの除去、排煙脱硫装置石膏法の石膏の粒度分級・分別、砥粒粉の分級、分別）