ミヤマ株式会社

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旧ピジョンポスト

ピジョンポスト Vol.41

2005.02.01

循環型生産設備 ミヤマのオンサイトリサイクルシステムをご提案します。

生産現場で発生する工程排出物の再利用や再資源化を促進したい。そして、生産効率の改善や環境パフォーマンスの向上を果たしたい。環境ISOの導入や、LCA(ライフ・サイクル・アセスメント)の考え方が広く普及する中、出来るだけ廃棄物を発生させない、製造工程内におけるリデュースやリユース、リサイクルの動きが活発化しています。
ミヤマは、お客様からのこうしたご要望にお応えするため、これまで様々な環境技術やサービスを提供してきました。
今回は、そうした手法の一つ、そして、現在大変ご注目をいただいているオンサイトリサイクルシステムについてご紹介します。

お客様の生産現場において環境負荷を少なく、生産コストを抑えるためにはどうすればよいのか、それを実現するために、「生産ライン上でのリユース・リサイクルを可能にする循環型生産設備」としてご提案するのが、オンサイトリサイクルシステムです。
オンサイトリサイクルは、お客様の製造工程から排出される廃棄物を中間処理工場で適正処理・リサイクルする、という従来のしくみを一歩進め、お客様の製造工程にリサイクル設備を設置し、工程内で製造原料をリユース・リサイクルしたり、有用な副産物を抽出するものです。これにより、製造原料の購入コスト削減、廃棄物の削減をはかり、同時に、環境負荷の軽減という効果ももたらします。
既に約10年前より、この発想による酸回収装置APUを販売。APUは、廃棄物として処理されてきた廃酸の中に残存する、50%を超える未使用の酸を製造工程内でリユースするシステムです。そして今、この発想を酸以外にまで広げたリサイクル技術、リサイクルシステムの提案が始まっています。
今回は、ミヤマがご提案するオンサイトリサイクルシステムの中から、代表的なシステムをご紹介します。

 

リユース率最大80% 研磨材スラリー廃液のオンサイトリユースシステム。

 

シリコンウエハーや光学レンズ、液晶ガラス基板等の研磨工程では、研磨用の砥粒として、ダイヤモンド、アルミナ、炭化珪素、酸化セリウム等を使用しています。 ここでポイントになるのは、こうした工程から排出されるスラリー廃液は、再利用可能な砥粒を多く含んだまま廃棄されているケースが少なくない、ということです。しかしこれまでは、砥粒スラリー廃液中に混在している研磨粉・粉砕砥粒などの不要物を除去する有効な手法がなく廃棄せざるを得ませんでした。
ここでご紹介するシステムは、研磨工程から排出される砥粒スラリー廃液から、研磨工程で再利用可能な砥粒を高精度に取り出すものです。


zu01-41.gif システムのコアになるのは、液体サイクロン装置です。この装置は砥粒スラリー廃液を遠心力によって分離・分級し、リユース可能な砥粒粉と、不要な研磨粉・粉砕砥粒としてそれぞれ回収します。再利用可能な砥粒の回収率は最高80%に及びます。
このシステム導入により、研磨剤購入コストの大幅な削減が可能となり、同時に、スラリー廃液の排出量の削減も実現します。 この、液体サイクロン装置を使用したオンサイトリユースシステムは、研磨砥粒のリユースだけでなく、有機質粉体、セラミック粉等、お客様の様々な用途・ご要望に対応が可能です。

 

工程内リサイクル+ネットワークで実現する ミヤマ独自のオンサイトリサイクル「フッ酸再資源化システム」

 

フッ酸再資源化システムもまた、オンサイトリサイクルシステムの代表的な事例です。
当システムは、炭酸カルシウムを充填した塔にフッ酸廃液を通水し、フッ素をフッ化カルシウムとして固定化、フッ酸原料として利用可能な合成蛍石を高純度で回収します。

ポイントは、炭酸カルシウム表面に生成したフッ化カルシウムを研磨・分離することにより、合成蛍石を回収できる点にあります。合成蛍石はメーカーに供給し、新たなフッ酸として生産ラインで使用するという循環を繰り返します。
ここで特徴的なのは、オンサイトリサイクルシステムの中にメーカーを組み込むこと。オンサイトリサイクルのメリットは、現場で物質を循環させることにありますが、リサイクルした合成蛍石のままでは再利用できません。そこで循環の輪を少し拡げるネットワークを活用することによって、新たな物質のリサイクルを可能にするのです。
当システムは、半導体や電子部品製造の表面処理工程等で引き合いをいただいており、今後も様々な分野での導入を見込んでいます。
今回当システムがさらに進化し、従来、反応塔と研磨槽、そして分離槽の3つから成っていたシステムがコンパクトにワンボディ化。高い処理能力はそのままに、既存設備内の設置自由度を大幅に高めました。
フッ素については、昨年7月より改正水質汚濁法に基づき新たな排水基準が適用されており、当システムは、フッ素の排水基準対応技術としてもご評価をいただいています。

オンサイトリサイクル技術は、生産の現場と、廃棄工程の双方を充分に把握して初めて、実効性のある技術となります。
お客様の製造工程には、どのようなリサイクル手法があるのか、製造工程や製造原料から見て、どんなものを製造原料や有価物・有用物としてリユース・リサイクル可能なのか、それらを充分に把握しながら、今出来得るベストな選択をご提案する。それがミヤマの考えるオンサイトリサイクルです。

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当システムにつきましては、弊社営業担当または下記までお問い合わせください。

 

環境装置事業部
TEL:026-285-4183 FAX:026-285-3551
E-mail:souchi@miyama.net


掲載内容は発行時点のものです。最新情報についてはお問い合わせください。

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